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BUSINESS-1
GAS BOX OVERHAUL 진행
GAS BOX OVERHAUL
진행
설비
AMAT Producer GT/SE
AMAT Ultima
NVLS Speed, VECTOR Extreme & Express, Altus
TEL TRIAS
TES Challenger
원익 IPS ATTO MAHA SP / HP
LAM Reserch kiyo/FLEX 등
진행
내용
오염,부식,내부Leak 발생 時
장비이설 및 개조로 장기 비가동 時
Component 분해 후 세정 또는 교체 / 조립 후 검증 / 설비 장착 후 검증
공정 변경 등으로 인한 Stick 추가 및 사용 GAS 변경에 따른 Component Spec Over
BUSINESS-2
반도체 설비 GAS CABINET 제작
반도체에 사용되는 Cabinet 제작
LDS System Utility Connection
TCSS Utility Connection
Toxice 및 Notoxice Cabicet use. OEM. ODM
BUSINESS-3
Novellus Vector RSMS Z-SCAN
RSMS – Z Sensor (Vpp 값 Reading)
Vpp와 전류, 위상 차를 Reading하여 정확한 효율 측정이 가능하며, Shower Head의 효율 변화 시
Vpp 값과 전류 위상 차 변화 확인이 가능함.
전압, 전류, 위상을 Reading 함으로써 P(W)=V x I x cosθ 계산하여 실제 인가되는 Power량을 Reading 할 수 있다.
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