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진행 설비 |
AMAT Producer GT/SE |
| AMAT Ultima | |
| NVLS Speed, VECTOR Extreme & Express, Altus | |
| TEL TRIAS | |
| TES Challenger | |
| 원익 IPS ATTO MAHA SP / HP | |
| LAM Reserch kiyo/FLEX 등 | |
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진행 내용 |
오염,부식,내부Leak 발생 時 |
| 장비이설 및 개조로 장기 비가동 時 | |
| Component 분해 후 세정 또는 교체 / 조립 후 검증 / 설비 장착 후 검증 | |
| 공정 변경 등으로 인한 Stick 추가 및 사용 GAS 변경에 따른 Component Spec Over |
| LDS System Utility Connection |
| TCSS Utility Connection |
| Toxice 및 Notoxice Cabicet use. OEM. ODM |
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Vpp와 전류, 위상 차를 Reading하여 정확한 효율 측정이 가능하며, Shower Head의 효율 변화 시 Vpp 값과 전류 위상 차 변화 확인이 가능함. |
| 전압, 전류, 위상을 Reading 함으로써 P(W)=V x I x cosθ 계산하여 실제 인가되는 Power량을 Reading 할 수 있다. |
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Euris는 유럽 다국적기업으로 프랑스에 위치한 공장에서 DSP (Diamond Scrub Pad)를 생산하고 있으며 반도체 공정에서 사용하는 제품으로 |
적절한 가격 |
| 적당한 다이아몬드 농도로 작업중 Pad 자체 청소가 필요치 않으므로 Downtime이 줄어든다. (높은 다아아몬드 농도는 다이아몬드 사이에 공정잔여물이 적재되어 시간이 지날수록 scrubing 효과가 떨어진다.) | |
| 티슈대신 마일러(Mylar)를 사용함으로 순수하고 냄새가 없으며 파티클 및 이온오염이 발생하기 어렵다. | |
| 광학적 외관 : Euris Pad는 규격별 색깔이 있어 쉽게 구분된다. |